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水环式真空泵的应用优势

  1、水环式真空泵的工作压力应满足真空设备和工作压力的要求。例如,真空涂层需要110-5mmHg的真空,并且所选真空泵的真空必须至少为510-6mmHg。通常,泵的真空选择为比真空装置的真空高一半到一个数量级。
  2、正确选择水环式真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围。例如,分散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,稳定的工作压力刻度为510-4 ?510-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应允许在10-8mmHg下长时间运行。另一个例子是钛增压泵可以在10-2mmHg下工作,但工作压力应小于110-5mmHg。
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  3、水环式真空泵应能在其工作压力下去除真空设备工艺过程中产生的全部气体。
  4、正确组合了真空泵。由于真空泵具有选择性泵送功能,因此有时不能使用泵来满足泵送要求。有必要组合几个泵并相互补充以满足泵送要求。例如,钛增加了泵对氢气的高抽速,但它不能泵送,而三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的抽速。结合使用时,真空设备将具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;某些真空泵出口压力低于大气压力,需要前级泵,因此需要将泵组合在一起。
  5、真空设备要求油污染。如果设备严格要求无油,则应选择各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵。如果要求不严重,可以选择有油泵,加上一些油污方法,如加入冷阱、挡板、油阱等,也可以达到真空要求。
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